Tetraflorometan, shuningdek, uglerod tetraflorid sifatida ham tanilgan, eng oddiy florokarbon (CF4).U uglerod-ftor aloqasining tabiati tufayli juda yuqori bog'lanish kuchiga ega.Bundan tashqari, uni haloalkan yoki halometan sifatida tasniflash mumkin.Ko'p uglerod-ftor aloqalari va ftorning eng yuqori elektr manfiyligi tufayli tetraflorometan tarkibidagi uglerod qo'shimcha ion xarakterini ta'minlash orqali to'rtta uglerod-ftor aloqasini mustahkamlaydigan va qisqartiradigan sezilarli musbat qisman zaryadga ega.Tetraflorometan kuchli issiqxona gazidir.
Tetraflorometan ba'zan past haroratli sovutgich sifatida ishlatiladi.U elektronika mikrofabrikasida yakka o'zi yoki kislorod bilan birgalikda kremniy, kremniy dioksidi va kremniy nitridi uchun plazma oqartiruvchi sifatida ishlatiladi.
Kimyoviy formula | CF4 | Molekulyar og'irlik | 88 |
CAS raqami. | 75-73-0 | EINECS raqami. | 200-896-5 |
Erish nuqtasi | -184℃ | Boling nuqtasi | -128,1 ℃ |
eruvchanligi | Suvda erimaydi | Zichlik | 1,96 g/sm³ (-184 ℃) |
Tashqi ko'rinish | Rangsiz, hidsiz, yonmaydigan, siqiladigan gaz | Ilova | Turli integral mikrosxemalar uchun plazma bilan ishlov berish jarayonida qo'llaniladi, shuningdek lazer gazi, sovutgich va boshqalar sifatida ishlatiladi. |
DOT ID raqami | UN1982 | DOT/IMO YUKLASH NOMI: | Tetraflorometan, siqilgan yoki sovutgichli gaz R14 |
DOT xavf klassi | Sinf 2.2 |
Element | Qiymat, I daraja | Qiymat, II daraja | Birlik |
Tozalik | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Boshqa florokarbonlar | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Kislotalik | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*boshqa ftoruglerodlar C ga tegishli2F6、C3F8 |
Eslatmalar
1) yuqorida ko'rsatilgan barcha texnik ma'lumotlar sizning ma'lumotingiz uchun.
2) muqobil spetsifikatsiya keyingi muhokama uchun qabul qilinadi.