آئٹم | ٹیکنیکل پراپرٹی |
اعلی طہارت نیین | |
نیین (Ne) پاکیزگی (حجم کا حصہ)/10-2≥ | 99.999 |
ہیلیم (وہ) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 6 |
ہائیڈروجن (H2) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 1 |
آکسیجن + آرگن (آکسیجن کے حساب سے) (O2+Ar) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 1 |
نائٹروجن (N2) مواد (حجم کا حصہ) zz/10-6≤ | 2 |
کاربن مونو آکسائیڈ (CO) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.2 |
کاربن ڈائی آکسائیڈ (CO2) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.2 |
میتھین (CH4) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.1 |
پانی (H2O) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 2 |
کل ناپاکی کا مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 10 |