Елемент | Технічна власність | ||
Чистий азот | Азот високої чистоти | Ультрачистий азот | |
Азот (N2) чистота (об'ємна частка)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
Кисень (O2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
Вміст аргону (Ar) (об'ємна частка)/10-6≤ | - | - | 2 |
Водень (H2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
Вміст чадного газу (CO) (об'ємна частка)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Вуглекислий газ (CO2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
Метан (CH4) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Вода (H2O) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |