Пункт | Технічна власність |
Неон високої чистоти | |
Неон (Ne) чистота (об'ємна частка)/10-2≥ | 99,999 |
Вміст гелію (He) (об'ємна частка)/10-6≤ | 6 |
Водень (H2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 1 |
Кисень+аргон (розраховується на кисень) (О2+Ar) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 1 |
Азот (N2) вміст (об’ємна частка) zz/10-6≤ | 2 |
Вміст оксиду вуглецю (CO) (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,2 |
Вуглекислий газ (CO2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,2 |
Метан (CH4) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,1 |
Вода (H2О) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 2 |
Загальний вміст домішок (об'ємна частка)/10-6≤ | 10 |