Елемент | Технічна власність | ||
Ксенон високої чистоти GB/T5828-2006 | Ультрачистий ксенон | ||
Чистота ксенону (Xe) (об'ємна частка)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Азот (N2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0,2 |
Кисень (O2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 1,5(О2+Ар) | 0,5(О2+Ар) | 0,1 |
Вміст аргону (Ar) (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,05 | ||
Водень (H2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Вміст чадного газу (CO) (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05(CO+CO2) |
Вміст вуглекислого газу (CO2) (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Метан (CH4) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Вода (H2O) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Вміст криптону (Kr) (об'ємна частка)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Закис азоту (N2O) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Фторид (C2F6) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Фторид (SF6) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | Немає даних | Немає даних | 0,05 |
Галузі застосування: в основному використовуються в напівпровідниковій промисловості, аерокосмічній промисловості, промисловості джерел електроенергії, медичному лікуванні, електровакуумі, дослідженні темної матерії, лазерній та інших галузях