Елемент | Технічна власність |
Гелій високої чистоти | |
Чистота гелію He (об'ємна частка)/10-2≥ | 99,999 |
Вміст неону (Ne) (об'ємна частка)/10-6≤ | 4 |
Водень (H2) вміст (об'ємна частка)/10-6 ≤ | 1 |
Кисень (O2) вміст (об'ємна частка)/10-6 ≤ | 1 |
Вміст аргону (Ar) (об'ємна частка)/10-6 ≤ | |
Азот (N2) вміст (об'ємна частка)/10-6 ≤ | 2 |
Вміст чадного газу (CO) (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 |
Вуглекислий газ (CO2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 |
Метан (CH4) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 |
Вода Н2Вміст O (об'ємна частка)/10-6≤ | 3 |
Загальний вміст журналу/10-6≤ | 10 |