Продукти
Аргоновий газ для електронної промисловості (Ar)
| Елемент | Технічна власність | |
| Чистота аргону (Ar) (об'ємна частка)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Водень (H2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Азот (N2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Кисень (O2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Загальний вміст чадного газу (CO) та вуглекислого газу (CO2), (об'ємна частка)/10-6≤ | Чадний газ: 0,1 Вуглекислий газ: 0,1 | 0,5 |
| Загальний вміст вуглеводнів (розрахований за метаном) (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Вода (H2O) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Загальний вміст домішок (об'ємна частка)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Зерно | Узгоджено Постачальником та Замовником | Узгоджено Постачальником та Замовником |
| Примітка: Вміст води в рідкому аргоні слід вимірювати після газифікації. | ||
Галузь застосування: використовується переважно для продувки, захисту та підвищення тиску в системі. Також може використовуватися в хімічному осадженні з парової фази, розпиленні, плазмовому та активному іонному травленні, відпалі та інших різних процесах, а також у спеціальних газових сумішах для електроніки.
Напишіть своє повідомлення тут і надішліть його нам
