Ürünler
Karbon tetraflorür
Karbon tetraflorür olarak da bilinen tetraflorometan, en basit florokarbondur (CF4).Karbon-flor bağının doğasından dolayı çok yüksek bir bağlanma mukavemetine sahiptir.Ayrıca haloalkan veya halometan olarak da sınıflandırılabilir.Çoklu karbon-flor bağları ve florun en yüksek elektronegatifliği nedeniyle, tetraflorometandaki karbon, ek iyonik karakter sağlayarak dört karbon-flor bağını güçlendiren ve kısaltan önemli bir pozitif kısmi yüke sahiptir.Tetraflorometan güçlü bir sera gazıdır.
Tetraflorometan bazen düşük sıcaklıkta soğutucu olarak kullanılır.Elektronik mikro imalatında tek başına veya silikon, silikon dioksit ve silikon nitrür için plazma aşındırıcı olarak oksijenle kombinasyon halinde kullanılır.
| Kimyasal formül | CF4 | Moleküler ağırlık | 88 |
| CAS Numarası. | 75-73-0 | EINECS Hayır. | 200-896-5 |
| Erime noktası | -184° | Boling noktası | -128.1°C |
| çözünürlük | Suda çözünmez | Yoğunluk | 1,96g/cm³（-184°C） |
| Dış görünüş | Renksiz, kokusuz, yanıcı olmayan, sıkıştırılabilir bir gaz | Başvuru | Çeşitli entegre devreler için plazma aşındırma işleminde kullanılır ve ayrıca lazer gazı, soğutucu vb. olarak da kullanılır. |
| DOT Kimlik Numarası | UN1982 | NOKTA/IMO GÖNDERİ ADI: | Tetraflorometan, Sıkıştırılmış veya Soğutucu Gaz R14 |
| DOT Tehlike Sınıfı | Sınıf 2.2 |
| Öğe | Değer, derece I | Değer, derece II | Birim |
| Saflık | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Diğer florokarbonlar | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| asitlik | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *diğer florokarbonlar C'ye atıfta bulunur2F6,C3F8 | |||
Notlar
1) Yukarıda belirtilen tüm teknik veriler referans amaçlıdır.
2) daha fazla tartışma için alternatif spesifikasyon memnuniyetle karşılanır.
