Ang Tetrafluoromethane, na kilala rin bilang carbon tetrafluoride, ay ang pinakasimpleng fluorocarbon (CF4).Ito ay may napakataas na lakas ng pagbubuklod dahil sa likas na katangian ng carbon-fluorine bond.Maaari din itong uriin bilang isang haloalkane o halomethane.Dahil sa maramihang carbon-fluorine bond, at ang pinakamataas na electronegativity ng fluorine, ang carbon sa tetrafluoromethane ay may makabuluhang positibong partial charge na nagpapalakas at nagpapaikli sa apat na carbon-fluorine bond sa pamamagitan ng pagbibigay ng karagdagang ionic na karakter.Ang Tetrafluoromethane ay isang makapangyarihang greenhouse gas.
Ang Tetrafluoromethane ay minsan ginagamit bilang isang mababang temperatura na nagpapalamig.Ito ay ginagamit sa electronics microfabrication nag-iisa o sa kumbinasyon ng oxygen bilang isang plasma etchant para sa silicon, silicon dioxide, at silicon nitride.
Formula ng kemikal | CF4 | Molekular na timbang | 88 |
Cas No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
Temperatura ng pagkatunaw | -184 ℃ | Boling point | -128.1 ℃ |
solubility | Hindi matutunaw sa tubig | Densidad | 1.96g/cm³(-184℃) |
Hitsura | Isang walang kulay, walang amoy, nonflammable, compressible gas | Aplikasyon | ginagamit sa proseso ng pag-ukit ng plasma para sa iba't ibang integrated circuit, at ginagamit din bilang laser gas, refrigerant atbp. |
DOT ID Number | UN1982 | DOT/IMO SHIPPING NAME: | Tetrafluoromethane, Compressed o Refrigerant Gas R14 |
Klase ng DOT Hazard | Klase 2.2 |
item | Halaga, grade I | Halaga, baitang II | Yunit |
Kadalisayan | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
Iba pang mga fluorocarbon | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
Kaasiman | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*ang ibang mga fluorocarbon ay tumutukoy sa C2F6、C3F8 |
Mga Tala
1) lahat ng teknikal na data na nakasaad sa itaas ay para sa iyong sanggunian.
2) ang alternatibong detalye ay malugod na tinatanggap para sa karagdagang talakayan.