item | Teknikal na Ari-arian | |
Argon (Ar) kadalisayan (volume fraction)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
Hydrogen (H2) nilalaman (volume fraction)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
Nitrogen (N2) nilalaman (volume fraction)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
Oxygen (O2) nilalaman (volume fraction)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
Kabuuang nilalaman ng carbon monoxide (CO) at carbon dioxide (CO2), (volume fraction)/10-6≤ | Carbon monoxide: 0.1 Carbon dioxide: 0.1 | 0.5 |
Kabuuang hydrocarbon (kinakalkula ng methane) na nilalaman (volume fraction)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
Tubig (H2O) nilalaman (volume fraction)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
Kabuuang impurity content (volume fraction)/10-6≤ | 1 | 8 |
butil | Sinang-ayunan ng Supplier at ng Demander | Sinang-ayunan ng Supplier at ng Demander |
Tandaan: Ang nilalaman ng tubig ng likidong argon ay dapat masukat pagkatapos ng gasification |
Application field: pangunahing ginagamit para sa purging, proteksyon at pressure ng system. Maaari rin itong gamitin sa chemical vapor deposition, sputtering, plasma at active ion etchant, annealing at iba pang iba't ibang proseso, gayundin sa electronic special mixed gas.