รายการ | ทรัพย์สินทางเทคนิค | ||
ออกซิเจนบริสุทธิ์ | ออกซิเจนบริสุทธิ์สูง | ออกซิเจนบริสุทธิ์มาก | |
ออกซิเจน (O2) ความบริสุทธิ์ (เศษส่วนปริมาตร)/10-2 | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
ไฮโดรเจน (H2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 1 | 0.5 | 0.1 |
ปริมาณอาร์กอน (Ar) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 10 | 2 | 0.2 |
ไนโตรเจน (N2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 20 | 5 | 0.1 |
คาร์บอนไดออกไซด์ (CO2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 1 | 0.5 | 0.1 |
ปริมาณไฮโดรคาร์บอนทั้งหมด (เศษส่วนปริมาตร) (คำนวณโดยก๊าซมีเทน)/10-6 | 2 | 0.5 | 0.1 |
น้ำ (เอช2ข) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 3 | 2 | 0.5 |
สาขาการประยุกต์ใช้: ส่วนใหญ่ใช้ในการเตรียมส่วนผสมก๊าซมาตรฐาน การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การผลิตวงจรรวมและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และสาขาอื่นๆ ที่มีความต้องการความบริสุทธิ์ของออกซิเจนสูง