รายการ | ทรัพย์สินทางเทคนิค | ||
ไนโตรเจนบริสุทธิ์ | ไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง | ไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง | |
ไนโตรเจน (N2) ความบริสุทธิ์ (เศษส่วนปริมาตร)/10-2 | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
ออกซิเจน (O2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 50 | 3 | 0.1 |
ปริมาณอาร์กอน (Ar) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | - | - | 2 |
ไฮโดรเจน (H2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 15 | 1 | 0.1 |
ปริมาณคาร์บอนมอนอกไซด์ (CO) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 5 | 1 | 0.1 |
คาร์บอนไดออกไซด์ (CO2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 10 | 1 | 0.1 |
มีเทน (CH4) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 5 | 1 | 0.1 |
น้ำ (เอช2ข) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 15 | 3 | 0.5 |