Tetrafluoromethane หรือที่เรียกว่าคาร์บอนเตตราฟลูออไรด์เป็นฟลูออโรคาร์บอนที่ง่ายที่สุด (CF4)มีความแข็งแรงในการยึดเกาะสูงมากเนื่องจากลักษณะของพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีนนอกจากนี้ยังสามารถจำแนกได้ว่าเป็นฮาโลอัลเคนหรือฮาโลมีเทนเนื่องจากพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีนหลายพันธะ และอิเล็กโตรเนกาติวีตี้สูงสุดของฟลูออรีน คาร์บอนในเตตร้าฟลูออโรมีเทนจึงมีประจุบางส่วนที่เป็นบวกอย่างมีนัยสำคัญ ซึ่งช่วยเสริมความแข็งแกร่งและลดพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีนทั้งสี่พันธะให้สั้นลงโดยให้คุณสมบัติไอออนิกเพิ่มเติมTetrafluoromethane เป็นก๊าซเรือนกระจกที่มีศักยภาพ
บางครั้ง Tetrafluoromethane ใช้เป็นสารทำความเย็นอุณหภูมิต่ำใช้ในการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์เพียงอย่างเดียวหรือใช้ร่วมกับออกซิเจนเป็นตัวกัดพลาสมาสำหรับซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ และซิลิคอนไนไตรด์
สูตรเคมี | CF4 | น้ำหนักโมเลกุล | 88 |
หมายเลข CAS | 75-73-0 | หมายเลข EINECS | 200-896-5 |
จุดหลอมเหลว | -184 ℃ | จุดโบลิ่ง | -128.1℃ |
ความสามารถในการละลาย | ไม่ละลายในน้ำ | ความหนาแน่น | 1.96 ก./ซม. (-184 ℃) |
รูปร่าง | ก๊าซไม่มีสี ไม่มีกลิ่น ไม่ติดไฟ และอัดอัดได้ | แอปพลิเคชัน | ใช้ในกระบวนการกัดพลาสม่าสำหรับวงจรรวมต่างๆ และใช้เป็นแก๊สเลเซอร์ สารทำความเย็น ฯลฯ |
หมายเลขประจำตัวดอท | UN1982 | ชื่อการจัดส่ง DOT/IMO: | เตตราฟลูออโรมีเทน ก๊าซอัดหรือสารทำความเย็น R14 |
ระดับอันตราย DOT | รุ่นที่ 2.2 |
รายการ | ความคุ้มค่า เกรด I | ความคุ้มค่าเกรด II | หน่วย |
ความบริสุทธิ์ | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
ฟลูออโรคาร์บอนอื่นๆ | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
ความเป็นกรด | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*ฟลูออโรคาร์บอนอื่นๆ หมายถึง C2F6,ค3F8 |
หมายเหตุ
1) ข้อมูลทางเทคนิคทั้งหมดที่ระบุไว้ข้างต้นมีไว้สำหรับการอ้างอิงของคุณ
2) ยินดีรับข้อกำหนดทางเลือกเพื่อการอภิปรายเพิ่มเติม