รายการ | ทรัพย์สินทางเทคนิค | |
ความบริสุทธิ์ของอาร์กอน (Ar) (เศษส่วนปริมาตร)/10-2 | 99.9999 | 99.9992 |
ไฮโดรเจน (H2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 0.1 | 1 |
ไนโตรเจน (N2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 0.5 | 5 |
ออกซิเจน (O2) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 0.2 | 0.5 |
ปริมาณคาร์บอนมอนอกไซด์ (CO) และคาร์บอนไดออกไซด์ (CO) รวม2), (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | คาร์บอนมอนอกไซด์: 0.1 คาร์บอนไดออกไซด์ : 0.1 | 0.5 |
ปริมาณไฮโดรคาร์บอนทั้งหมด (คำนวณโดยมีเทน) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 0.1 | 0.5 |
น้ำ (เอช2ข) เนื้อหา (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 0.2 | 0.5 |
ปริมาณสิ่งเจือปนทั้งหมด (เศษส่วนปริมาตร)/10-6 | 1 | 8 |
เมล็ดพืช | ตกลงกันโดยซัพพลายเออร์และผู้เรียกร้อง | ตกลงกันโดยซัพพลายเออร์และผู้เรียกร้อง |
หมายเหตุ: ควรวัดปริมาณน้ำของอาร์กอนเหลวหลังจากการทำให้เป็นก๊าซ |
ขอบเขตการใช้งาน: ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการล้าง ป้องกัน และการเพิ่มแรงดันของระบบ นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในการสะสมไอเคมี การสปัตเตอร์ พลาสมาและสารกัดกร่อนไอออนที่ใช้งาน การอบอ่อน และกระบวนการอื่นๆ ที่แตกต่างกัน รวมถึงในก๊าซผสมพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์