టెట్రాఫ్లోరోమీథేన్, కార్బన్ టెట్రాఫ్లోరైడ్ అని కూడా పిలుస్తారు, ఇది సరళమైన ఫ్లోరోకార్బన్ (CF4).కార్బన్-ఫ్లోరిన్ బంధం యొక్క స్వభావం కారణంగా ఇది చాలా ఎక్కువ బంధన బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది.దీనిని హాలోఅల్కేన్ లేదా హలోమీథేన్గా కూడా వర్గీకరించవచ్చు.బహుళ కార్బన్-ఫ్లోరిన్ బంధాలు మరియు ఫ్లోరిన్ యొక్క అత్యధిక ఎలెక్ట్రోనెగటివిటీ కారణంగా, టెట్రాఫ్లోరోమీథేన్లోని కార్బన్ గణనీయమైన సానుకూల పాక్షిక చార్జ్ను కలిగి ఉంటుంది, ఇది అదనపు అయానిక్ పాత్రను అందించడం ద్వారా నాలుగు కార్బన్-ఫ్లోరిన్ బంధాలను బలపరుస్తుంది మరియు తగ్గిస్తుంది.టెట్రాఫ్లోరోమీథేన్ ఒక శక్తివంతమైన గ్రీన్హౌస్ వాయువు.
టెట్రాఫ్లోరోమీథేన్ను కొన్నిసార్లు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత శీతలకరణిగా ఉపయోగిస్తారు.ఇది ఎలక్ట్రానిక్స్ మైక్రోఫ్యాబ్రికేషన్లో ఒంటరిగా లేదా ఆక్సిజన్తో కలిపి సిలికాన్, సిలికాన్ డయాక్సైడ్ మరియు సిలికాన్ నైట్రైడ్ కోసం ప్లాస్మా ఎచాంట్గా ఉపయోగించబడుతుంది.
రసాయన సూత్రం | CF4 | పరమాణు బరువు | 88 |
CAS నం. | 75-73-0 | EINECS నం. | 200-896-5 |
ద్రవీభవన స్థానం | -184℃ | బోలింగ్ పాయింట్ | -128.1℃ |
ద్రావణీయత | నీటిలో కరగదు | సాంద్రత | 1.96g/cm³ (-184℃) |
స్వరూపం | రంగులేని, వాసన లేని, మంటలేని, సంపీడన వాయువు | అప్లికేషన్ | వివిధ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ల కోసం ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించబడుతుంది మరియు లేజర్ గ్యాస్, రిఫ్రిజెరాంట్ మొదలైనవిగా కూడా ఉపయోగించబడుతుంది. |
DOT ID సంఖ్య | UN1982 | DOT/IMO షిప్పింగ్ పేరు: | టెట్రాఫ్లోరోమీథేన్, కంప్రెస్డ్ లేదా రిఫ్రిజెరాంట్ గ్యాస్ R14 |
DOT ప్రమాద తరగతి | తరగతి 2.2 |
అంశం | విలువ, గ్రేడ్ I | విలువ, గ్రేడ్ II | యూనిట్ |
స్వచ్ఛత | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
ఇతర ఫ్లోరోకార్బన్లు | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
ఆమ్లత్వం | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
* ఇతర ఫ్లోరోకార్బన్లు C ని సూచిస్తాయి2F6, సి3F8 |
గమనికలు
1) పైన సూచించిన అన్ని సాంకేతిక డేటా మీ సూచన కోసం.
2) తదుపరి చర్చకు ప్రత్యామ్నాయ వివరణ స్వాగతం.