பொருள் | தொழில்நுட்ப சொத்து |
உயர் தூய்மை நியான் | |
நியான் (Ne) தூய்மை (தொகுதி பின்னம்)/10-2≥ | 99.999 |
ஹீலியம் (அவர்) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ | 6 |
ஹைட்ரஜன் (எச்2) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ | 1 |
ஆக்ஸிஜன்+ஆர்கான் (ஆக்சிஜன் மூலம் கணக்கிடப்படுகிறது) (O2+Ar) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ | 1 |
நைட்ரஜன் (என்2) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்) zz/10-6≤ | 2 |
கார்பன் மோனாக்சைடு (CO) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ | 0.2 |
கார்பன் டை ஆக்சைடு (CO2) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ | 0.2 |
மீத்தேன் (CH4) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ | 0.1 |
நீர் (எச்2O) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ | 2 |
மொத்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ | 10 |