Produkter
Koltetrafluorid
Tetrafluormetan, även känd som koltetrafluorid, är det enklaste fluorkolvätet (CF4).Den har en mycket hög bindningsstyrka på grund av arten av kol-fluorbindningen.Det kan också klassificeras som en haloalkan eller halometan.På grund av de multipla kol-fluorbindningarna och den högsta elektronegativiteten hos fluor, har kolet i tetrafluormetan en betydande positiv partiell laddning som stärker och förkortar de fyra kol-fluorbindningarna genom att ge ytterligare jonkaraktär.Tetrafluormetan är en potent växthusgas.
Tetrafluormetan används ibland som ett lågtemperaturköldmedium.Den används i elektronikmikrotillverkning ensam eller i kombination med syre som plasmaetsningsmedel för kisel, kiseldioxid och kiselnitrid.
| Kemisk formel | CF4 | Molekylvikt | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS nr. | 200-896-5 |
| Smältpunkt | -184℃ | Boling punkt | -128,1 ℃ |
| löslighet | Olösligt i vatten | Densitet | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Utseende | En färglös, luktfri, icke brännbar, komprimerbar gas | Ansökan | används i plasmaetsningsprocessen för olika integrerade kretsar, och används även som lasergas, köldmedium etc. |
| DOT ID-nummer | UN1982 | PUNKT/IMO FRAKTNAMN: | Tetrafluormetan, komprimerad eller köldmediegas R14 |
| DOT-riskklass | Klass 2.2 |
| Artikel | Värde, betyg I | Värde, betyg II | Enhet |
| Renhet | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andra fluorkolväten | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Aciditet | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andra fluorkolväten hänvisar till C2F6、C3F8 | |||
Anteckningar
1) alla tekniska data som anges ovan är för din referens.
2) alternativ specifikation är välkommen för vidare diskussion.
