Barang | Harta Téknis | ||
Nitrogén murni | Nitrogén purity tinggi | Nitrogén ultrapure | |
Nitrogén (N2) purity (volume fraksi) / 10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
Oksigén (O2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
Argon (Ar) eusi (volume fraksi)/10-6≤ | - | - | 2 |
Hidrogen (H2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
Kandungan karbon monoksida (CO) (fraksi volume)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Karbon dioksida (CO2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
Métana (CH4) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Cai (H2O) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |