Barang | Harta Téknis |
Hélium purity tinggi | |
Helium He purity (fraksi volume)/10-2≥ | 99.999 |
Neon (Ne) eusi (fraksi volume) / 10-6≤ | 4 |
Hidrogen (H2) eusi (fraksi volume)/10-6 ≤ | 1 |
Oksigén (O2) eusi (fraksi volume)/10-6 ≤ | 1 |
Argon (Ar) eusi (volume fraksi)/10-6 ≤ | |
Nitrogén (N2) eusi (fraksi volume)/10-6 ≤ | 2 |
Kandungan karbon monoksida (CO) (fraksi volume)/10-6≤ | 0.5 |
Karbon dioksida (CO2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.5 |
Métana (CH4) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.5 |
Cai H2O eusi (fraksi volume) / 10-6≤ | 3 |
Total eusi majalah/10-6≤ | 10 |