Barang | Harta Téknis | |
Argon (Ar) purity (volume fraksi)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
Hidrogen (H2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
Nitrogén (N2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
Oksigén (O2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
Total eusi karbon monoksida (CO) jeung karbon dioksida (CO2), (fraksi volume) / 10-6≤ | Karbon monoksida: 0.1 Karbon dioksida: 0.1 | 0.5 |
Jumlah hidrokarbon (diitung ku métana) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
Cai (H2O) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
Total eusi najis (fraksi volume) / 10-6≤ | 1 | 8 |
sisikian | Disatujuan ku Supplier sareng Demander | Disatujuan ku Supplier sareng Demander |
Catetan: Eusi cai argon cair kudu diukur sanggeus gasification |
Widang aplikasi: utamana dipaké pikeun purging, panyalindungan jeung pressurization tina sistem. Ogé bisa dipaké dina déposisi uap kimiawi, sputtering, plasma jeung ion aktif etchant, annealing jeung prosés béda lianna, kitu ogé dina gas campuran husus éléktronik.