Ставка | Техничка својина | ||
Чисти кисеоник | Кисеоник високе чистоће | Ултрачисти кисеоник | |
Кисеоник (O2) чистоћа (запремински удео)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Водоник (H2) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Садржај аргона (Ar) (запремински удео)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Азот (N2) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Угљен-диоксид (CO2) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Укупан садржај угљоводоника (запремински удео) (израчунато по метану)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Вода (H2O) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Област примене: углавном се користи у припреми стандардне гасне смеше, научним истраживањима, производњи интегрисаних кола и полупроводничких уређаја и другим областима са високим захтевима за чистоћу кисеоника.