Ставка | Техничка својина | ||
Ксенон високе чистоће ГБ/Т5828-2006 | Ултрачисти ксенон | ||
Чистоћа ксенона (Xe) (запремински удео)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Азот (N2) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
Кисеоник (O2) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 1,5(О2+Ар) | 0,5(О2+Ар) | 0,1 |
Садржај аргона (Ar) (запремински удео)/10-6≤ | 0,05 | ||
Водоник (H2) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Садржај угљен-моноксида (CO) (запремински удео)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05(CO+CO2) |
Садржај угљен-диоксида (CO2) (запремински удео)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Метан (CH4) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Вода (H2O) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Садржај криптона (Kr) (запремински удео)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Азот-оксид (N2O) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Флуорид (C2F6) садржај (запремински удео)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Флуорид (SF6) садржај (запремински удео)/10-6≤ | Н/Д | Н/Д | 0,05 |
Области примене: углавном се користи у полупроводничкој индустрији, ваздухопловству, индустрији електричних извора светлости, медицинском третману, електричном вакууму, истраживању тамне материје, ласеру и другим областима