Tetrafluorometani, i njohur gjithashtu si tetrafluorid i karbonit, është fluorokarboni më i thjeshtë (CF4).Ka një forcë lidhëse shumë të lartë për shkak të natyrës së lidhjes karbon-fluor.Mund të klasifikohet gjithashtu si haloalkan ose halometan.Për shkak të lidhjeve të shumta karbon-fluor dhe elektronegativitetit më të lartë të fluorit, karboni në tetrafluorometan ka një ngarkesë të pjesshme pozitive të konsiderueshme, e cila forcon dhe shkurton katër lidhjet karbon-fluor duke siguruar karakter shtesë jonik.Tetrafluorometani është një gaz i fuqishëm serrë.
Tetrafluorometani përdoret ndonjëherë si ftohës me temperaturë të ulët.Përdoret vetëm në mikrofabrikimin elektronik ose në kombinim me oksigjenin si një gravisht plazmatike për silikonin, dioksidin e silikonit dhe nitridin e silikonit.
Formula kimike | CF4 | Peshë molekulare | 88 |
CAS Nr. | 75-73-0 | EINECS Nr. | 200-896-5 |
Pika e shkrirjes | -184 ℃ | Pika boling | -128,1 ℃ |
tretshmëria | I pazgjidhshëm në ujë | Dendësia | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
Pamja e jashtme | Një gaz pa ngjyrë, pa erë, jo i ndezshëm, i ngjeshshëm | Aplikacion | përdoret në procesin e gravimit të plazmës për qarqe të ndryshme të integruara, dhe përdoret gjithashtu si gaz lazer, ftohës etj. |
Numri ID DOT | OKB 1982 | EMRI I DËRGIMIT DOT/IMO: | Tetrafluorometan, gaz i ngjeshur ose ftohës R14 |
Klasa e rrezikut DOT | Klasa 2.2 |
Artikulli | Vlera, nota I | Vlera, klasa II | Njësia |
Pastërti | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
Fluorokarbure të tjera | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | --- | ppmv |
Aciditeti | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*fluorokarburet e tjera i referohen C2F6、C3F8 |
Shënime
1) të gjitha të dhënat teknike të treguara më sipër janë për referencën tuaj.
2) specifikimi alternativ është i mirëpritur për diskutim të mëtejshëm.