Predmet | Tehnična lastnina | ||
Visoko čist ksenon GB/T5828-2006 | Ultračisti ksenon | ||
Čistost ksenona (Xe) (volumski delež)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Dušik (N2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
Kisik (O2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 1,5(O)2+Ar) | 0,5(O)2+Ar) | 0,1 |
Vsebnost argona (Ar) (volumski delež)/10-6≤ | 0,05 | ||
Vodik (H2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Vsebnost ogljikovega monoksida (CO) (volumski delež)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 (CO₂+CO₂2) |
Vsebnost ogljikovega dioksida (CO2) (volumski delež)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Metan (CH4) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Voda (H2vsebnost O) (volumski delež)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Vsebnost kriptona (Kr) (volumski delež)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Dušikov oksid (N2vsebnost O) (volumski delež)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (C2F6) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (SF6) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | Ni na voljo | Ni na voljo | 0,05 |
Področja uporabe: uporablja se predvsem v polprevodniški industriji, vesoljski industriji, industriji električnih svetlobnih virov, medicinski oskrbi, električnem vakuumu, raziskavah temne snovi, laserju in drugih področjih