Predmet | Tehnična lastnina |
Visoko čist helij | |
Čistost helija He (volumski delež)/10-2≥ | 99,999 |
Vsebnost neona (Ne) (volumski delež)/10-6≤ | 4 |
Vodik (H2) vsebnost (volumski delež)/10-6 ≤ | 1 |
Kisik (O2) vsebnost (volumski delež)/10-6 ≤ | 1 |
Vsebnost argona (Ar) (volumski delež)/10-6 ≤ | |
Dušik (N2) vsebnost (volumski delež)/10-6 ≤ | 2 |
Vsebnost ogljikovega monoksida (CO) (volumski delež)/10-6≤ | 0,5 |
Ogljikov dioksid (CO2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,5 |
Metan (CH4) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,5 |
Voda H2vsebnost O (volumski delež)/10-6≤ | 3 |
Skupna vsebina revije/10-6≤ | 10 |