Izdelki
Argonski plin za elektronsko industrijo (Ar)
| Predmet | Tehnična lastnina | |
| Čistost argona (Ar) (volumski delež)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Vodik (H2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Dušik (N2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Kisik (O2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Skupna vsebnost ogljikovega monoksida (CO) in ogljikovega dioksida (CO2), (volumski delež)/10-6≤ | Ogljikov monoksid: 0,1 Ogljikov dioksid: 0,1 | 0,5 |
| Skupna vsebnost ogljikovodikov (izračunano z metanom) (volumski delež)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Voda (H2vsebnost O) (volumski delež)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Skupna vsebnost nečistoč (volumski delež)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Zrno | Dogovorjeno med dobaviteljem in naročnikom | Dogovorjeno med dobaviteljem in naročnikom |
| Opomba: Vsebnost vode v tekočem argonu se izmeri po uplinjanju. | ||
Področje uporabe: uporablja se predvsem za čiščenje, zaščito in vzdrževanje tlaka v sistemu. Uporablja se lahko tudi pri kemičnem nanašanju s paro, razprševanju, plazemskem in aktivnem ionskem jedkanju, žarjenju in drugih različnih postopkih, kot tudi v elektronskih posebnih mešanicah plinov.
Napišite svoje sporočilo tukaj in nam ga pošljite
