Položka | Technické vlastnosti | ||
Čistý kyslík | Vysoko čistý kyslík | Ultračistý kyslík | |
Kyslík (O2) čistota (objemový zlomok)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Vodík (H2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Obsah argónu (Ar) (objemový zlomok)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Dusík (N2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Oxid uhličitý (CO2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Celkový obsah uhľovodíkov (objemový podiel) (vypočítaný z metánu)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Voda (H2obsah O) (objemový zlomok)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Oblasť použitia: používa sa hlavne pri príprave štandardných plynných zmesí, vedeckom výskume, výrobe integrovaných obvodov a polovodičových zariadení a v iných oblastiach s vysokými požiadavkami na čistotu kyslíka.