Položka | Technické vlastnosti | ||
Vysoko čistý xenón GB/T5828-2006 | Ultračistý xenón | ||
Čistota xenónu (Xe) (objemový zlomok)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Dusík (N2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
Kyslík (O2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 1,5(O)2+Ar) | 0,5(O)2+Ar) | 0,1 |
Obsah argónu (Ar) (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,05 | ||
Vodík (H2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Obsah oxidu uhoľnatého (CO) (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 (CO + CO2) |
Obsah oxidu uhličitého (CO2) (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Metán (CH4) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Voda (H2obsah O) (objemový zlomok)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Obsah kryptónu (Kr) (objemový zlomok)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Oxid dusný (N2obsah O) (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (C2F6) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (SF6) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | Neuvedené | Neuvedené | 0,05 |
Oblasti použitia: používané hlavne v polovodičovom priemysle, leteckom priemysle, priemysle elektrických svetelných zdrojov, lekárskej starostlivosti, elektrickom vákuu, výskume tmavej hmoty, laseroch a iných oblastiach