Produkty
Tetrafluorid uhličitý
Tetrafluórmetán, tiež známy ako fluorid uhličitý, je najjednoduchší fluórovaný uhľovodík (CF4).Má veľmi vysokú pevnosť väzby vďaka povahe väzby uhlík-fluór.Môže byť tiež klasifikovaný ako halogénalkán alebo halogénmetán.Kvôli viacnásobným väzbám uhlík-fluór a najvyššej elektronegativite fluóru má uhlík v tetrafluórmetáne významný kladný čiastočný náboj, ktorý posilňuje a skracuje štyri väzby uhlík-fluór poskytnutím dodatočného iónového charakteru.Tetrafluórmetán je silný skleníkový plyn.
Tetrafluórmetán sa niekedy používa ako nízkoteplotné chladivo.Používa sa pri mikrovýrobe elektroniky samostatne alebo v kombinácii s kyslíkom ako plazmové leptadlo pre kremík, oxid kremičitý a nitrid kremíka.
| Chemický vzorec | CF4 | Molekulová hmotnosť | 88 |
| CAS č. | 75-73-0 | Číslo EINECS | 200-896-5 |
| Bod topenia | -184 ℃ | Bolingov bod | -128,1 ℃ |
| rozpustnosť | Nerozpustný vo vode | Hustota | 1,96 g/cm³（-184℃） |
| Vzhľad | Bezfarebný, nehorľavý, stlačiteľný plyn bez zápachu | Aplikácia | používa sa v procese plazmového leptania pre rôzne integrované obvody a používa sa aj ako laserový plyn, chladivo atď. |
| ID číslo DOT | UN1982 | DOPRAVNÝ NÁZOV DOT/IMO: | Tetrafluórmetán, stlačený alebo chladiaci plyn R14 |
| DOT trieda nebezpečnosti | Trieda 2.2 |
| Položka | Hodnota, stupeň I | Hodnota, stupeň II | Jednotka |
| Čistota | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Ostatné fluórované uhľovodíky | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kyslosť | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *ostatné fluórované uhľovodíky sa vzťahujú na C2F6、C3F8 | |||
Poznámky
1) všetky vyššie uvedené technické údaje slúžia pre vašu referenciu.
2) alternatívna špecifikácia je vítaná na ďalšiu diskusiu.
