අයිතමය | තාක්ෂණික දේපළ | ||
පිරිසිදු ඔක්සිජන් | ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඔක්සිජන් | අතිශුද්ධ ඔක්සිජන් | |
ඔක්සිජන් (O2) සංශුද්ධතාවය (පරිමාව භාගය)/10-2≥ | 99.995 මිල | 99.999 මිල | 99.9999 මිල |
හයිඩ්රජන් (H2) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 1 | 0.5 | 0.1 ශ්රේණිය |
ආගන් (Ar) අන්තර්ගතය (පරිමාව භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 10 | 2 | 0.2 |
නයිට්රජන් (N2) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 20 | 5 | 0.1 ශ්රේණිය |
කාබන් ඩයොක්සයිඩ් (CO2) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 1 | 0.5 | 0.1 ශ්රේණිය |
මුළු හයිඩ්රොකාබන් අන්තර්ගතය (පරිමා භාගය) (මීතේන් මගින් ගණනය කෙරේ)/10-6≤ (අයි.වී.) | 2 | 0.5 | 0.1 ශ්රේණිය |
ජලය (එච්2O) අන්තර්ගතය (පරිමාව භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 3 | 2 | 0.5 |
යෙදුම් ක්ෂේත්රය: ප්රධාන වශයෙන් සම්මත වායු මිශ්රණය සකස් කිරීම, විද්යාත්මක පර්යේෂණ, ඒකාබද්ධ පරිපථ සහ අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය සහ ඔක්සිජන් සංශුද්ධතාවය සඳහා ඉහළ අවශ්යතා සහිත අනෙකුත් ක්ෂේත්ර සඳහා භාවිතා වේ.