අයිතමය | තාක්ෂණික දේපළ | ||
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සෙනෝන් ජීබී/ටී5828-2006 | අතිශය පිරිසිදු සෙනෝන් | ||
සෙනෝන් (Xe) සංශුද්ධතාවය (පරිමාව භාගය)/10-2≥ | 99.999 මිල | 99.9995 මිල | 99.9999 මිල |
නයිට්රජන් (N2) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 2.5 මාලා | 1.5 මාලා | 0.2 |
ඔක්සිජන් (O2) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 1.5(ඕ2+ආර්) | 0.5(ඕ2+ආර්) | 0.1 ශ්රේණිය |
ආගන් (Ar) අන්තර්ගතය (පරිමාව භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 0.05 යනු කුමක්ද? | ||
හයිඩ්රජන් (H2) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 0.5 | 0.5 | 0.05 යනු කුමක්ද? |
කාබන් මොනොක්සයිඩ් (CO) අන්තර්ගතය (පරිමා භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 0.2 | 0.1 ශ්රේණිය | 0.05(CO+CO)2) |
කාබන් ඩයොක්සයිඩ් (CO2) අන්තර්ගතය (පරිමා භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 0.3 | 0.1 ශ්රේණිය | |
මීතේන් (CH4) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 0.3 | 0.1 ශ්රේණිය | 0.05 යනු කුමක්ද? |
ජලය (එච්2O) අන්තර්ගතය (පරිමාව භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 2 | 1 | 0.1 ශ්රේණිය |
ක්රිප්ටෝන් (Kr) අන්තර්ගතය (පරිමාව භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 2 | 1 | 0.1 ශ්රේණිය |
නයිට්රස් ඔක්සයිඩ් (N)2O) අන්තර්ගතය (පරිමාව භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 0.2 | 0.1 ශ්රේණිය | 0.05 යනු කුමක්ද? |
ෆ්ලෝරයිඩ් (C)2F6) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | 0.5 | 0.1 ශ්රේණිය | 0.05 යනු කුමක්ද? |
ෆ්ලෝරයිඩ් (SF)6) අන්තර්ගතය (වෙළුම් භාගය)/10-6≤ (අයි.වී.) | අදාළ නොවේ | අදාළ නොවේ | 0.05 යනු කුමක්ද? |
යෙදුම් ක්ෂේත්ර: ප්රධාන වශයෙන් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, අභ්යවකාශය, විදුලි ආලෝක ප්රභව කර්මාන්තය, වෛද්ය ප්රතිකාර, විද්යුත් රික්තය, අඳුරු පදාර්ථ පර්යේෂණ, ලේසර් සහ අනෙකුත් ක්ෂේත්රවල භාවිතා වේ.