شيءِ | ٽيڪنيڪل ملڪيت | ||
اعليٰ پاڪائي وارو زينون جي بي/ٽي 5828-2006 | الٽرا پيور زينون | ||
زينون (Xe) پاڪائي (حجم حصو)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
نائٽروجن (ن)2) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
آڪسيجن (O)2) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 1.5 (او2+آر) | 0.5 (او2+آر) | 0.1 |
آرگن (Ar) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 0.05 | ||
هائيڊروجن (ايڇ)2) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
ڪاربن مونو آڪسائيڊ (CO) جو مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
ڪاربان ڊاءِ آڪسائيڊ (CO2) جو مقدار (حجم حصو)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
ميٿين (سي ايڇ4) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
پاڻي (H2O) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
ڪرپٽن (Kr) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
نائٽرس آڪسائيڊ (اين2O) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
فلورائيڊ (سي)2F6) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
فلورائيڊ (ايس ايف)6) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | نه/هڪ | نه/هڪ | 0.05 |
ايپليڪيشن جا شعبا: خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري، ايرو اسپيس، برقي روشني جي ذريعن جي صنعت، طبي علاج، برقي ويڪيوم، ڪارو مادو تحقيق، ليزر ۽ ٻين شعبن ۾ استعمال ٿيندا آهن.