Tetrafluoromethane، پڻ ڪاربن tetrafluoride طور سڃاتو وڃي ٿو، آسان ترين فلورو ڪاربن (CF4) آهي.ڪاربان-فلورين بانڊ جي فطرت جي ڪري ان ۾ تمام گهڻي مضبوطي آهي.اهو به هڪ haloalkane يا halomethane طور درجه بندي ڪري سگهجي ٿو.گھڻن ڪاربن-فلورين بانڊن جي ڪري، ۽ فلورائن جي سڀ کان وڌيڪ برقي منفيت، tetrafluoromethane ۾ ڪاربان هڪ اهم مثبت جزوي چارج آهي جيڪو اضافي ionic ڪردار مهيا ڪندي چار ڪاربن-فلورين بانڊ کي مضبوط ۽ ننڍو ڪري ٿو.Tetrafluoromethane هڪ طاقتور گرين هائوس گيس آهي.
Tetrafluoromethane ڪڏهن ڪڏهن استعمال ڪيو ويندو آهي گهٽ درجه حرارت ريفريجرينٽ طور.اهو صرف اليڪٽرانڪس مائڪرو فيبريڪيشن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي يا آڪسيجن سان گڏ سلکان، سلکان ڊاءِ آڪسائيڊ، ۽ سلڪون نائٽرائڊ لاءِ پلازما ايچنٽ جي طور تي.
ڪيميائي فارمولا | CF4 | ماليڪيولر وزن | 88 |
CAS نمبر | 75-73-0 | EINECS نمبر | 200-896-5 |
پگھلڻ وارو نقطو | -184 ℃ | بولنگ پوائنٽ | -128.1 ℃ |
حل ڪرڻ | پاڻيءَ ۾ اگھلندڙ | کثافت | 1.96g/cm³ (-184℃) |
ظاهر | بي رنگ، بي بوءِ، اڻ ٻرندڙ، دٻجڻ واري گئس | درخواست | مختلف integrated circuits لاء پلازما etching جي عمل ۾ استعمال ڪيو، ۽ پڻ استعمال ڪيو ليزر گئس، refrigerant وغيره. |
DOT ID نمبر | UN1982 | DOT/IMO شپنگ جو نالو: | Tetrafluoromethane، Compressed يا Refrigerant گيس R14 |
DOT خطرناڪ ڪلاس | ڪلاس 2.2 |
شيءِ | قدر، گريڊ I | قدر، گريڊ II | يونٽ |
پاڪائي | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
ٻيا فلورو ڪاربن | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
تيزابيت | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
* ٻيا فلورو ڪاربن سي ڏانهن اشارو ڪن ٿا2F6سي3F8 |
نوٽس
1) مٿي ڄاڻايل سڀ ٽيڪنيڪل ڊيٽا توهان جي حوالي لاء آهن.
2) متبادل وضاحت وڌيڪ بحث لاء ڀليڪار آهي.