Элемент | Техническая собственность | ||
Чистый кислород | Кислород высокой чистоты | Сверхчистый кислород | |
Кислород (О2) чистота (объемная доля)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Водород (Н2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Содержание аргона (Ar) (объемная доля)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Азот (N2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Общее содержание углеводородов (объемная доля) (в расчете на метан)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
Вода (Н2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Область применения: в основном используется при приготовлении стандартных газовых смесей, в научных исследованиях, производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов, а также в других областях с высокими требованиями к чистоте кислорода.