
| Элемент | Техническая собственность | ||
| Чистый кислород | Кислород высокой чистоты | Сверхчистый кислород | |
| Кислород (O2) чистота (объемная доля)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Водород (H2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Содержание аргона (Ar) (объемная доля)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Азот (N2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Общее содержание углеводородов (объемная доля) (в расчете на метан)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
| Вода (Н2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Область применения: в основном используется при приготовлении стандартных газовых смесей, научных исследованиях, производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов, а также в других областях с повышенными требованиями к чистоте кислорода.