
| Элемент | Техническая собственность | ||
| Чистый азот | Азот высокой чистоты | Сверхчистый азот | |
| Азот (N2) чистота (объемная доля)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| Кислород (O2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| Содержание аргона (Ar) (объемная доля)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Водород (H2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| Содержание оксида углерода (СО) (объемная доля)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| Метан (CH4) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Вода (Н2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |