Элемент | Техническая собственность |
Неон высокой чистоты | |
Неон (Ne) чистота (объемная доля)/10-2≥ | 99,999 |
Содержание гелия (He) (объемная доля)/10-6≤ | 6 |
Водород (H2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 |
Кислород+аргон (в расчете на кислород) (O2+Ar) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 |
Азот (N2) содержание (объемная доля) зз/10-6≤ | 2 |
Содержание угарного газа (СО) (объемная доля)/10-6≤ | 0,2 |
Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,2 |
Метан (CH4) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,1 |
Вода (H2О) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 2 |
Общее содержание примесей (объемная доля)/10-6≤ | 10 |