Элемент | Техническая собственность |
Неон высокой чистоты | |
Чистота неона (Ne) (объемная доля)/10-2≥ | 99.999 |
Содержание гелия (He) (объемная доля)/10-6≤ | 6 |
Водород (H2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 |
Кислород+аргон (в расчете по кислороду) (O2+Ar) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 |
Азот (N2) содержание (объемная доля) zz/10-6≤ | 2 |
Содержание оксида углерода (СО) (объемная доля)/10-6≤ | 0,2 |
Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,2 |
Метан (CH4) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.1 |
Вода (Н2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 2 |
Общее содержание примесей (объемная доля)/10-6≤ | 10 |