Элемент | Техническая собственность |
Чистота аргона (Ar) (объемная доля)/10-2≥ | 99.999 |
Водород (H2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 |
Кислород (O2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1.5 |
Азот (N2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 4 |
Метан (CH4) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,4 |
Содержание оксида углерода (СО) (объемная доля)/10-6≤ | 0,3 |
Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,3 |
Вода (Н2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 3 |
Примечание: Жидкий аргон не определяет содержание влаги. |