Элемент | Техническая собственность |
Чистота аргона (Ar) (объемная доля)/10-2≥ | 99.999 |
Водород (Н2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 |
Кислород (О2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1.5 |
Азот (N2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 4 |
Метан (СН4) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.4 |
Содержание оксида углерода (CO) (объемная доля)/10-6≤ | 0.3 |
Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.3 |
Вода (Н2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 3 |
Примечание: жидкий аргон не определяет содержание влаги. |