Элемент | Техническая собственность |
Гелий высокой чистоты | |
Чистота гелия He (объемная доля)/10-2≥ | 99.999 |
Содержание неона (Ne) (объемная доля)/10-6≤ | 4 |
Водород (Н2) содержание (объемная доля)/10-6 ≤ | 1 |
Кислород (О2) содержание (объемная доля)/10-6 ≤ | 1 |
Содержание аргона (Ar) (объемная доля)/10-6 ≤ | |
Азот (N2) содержание (объемная доля)/10-6 ≤ | 2 |
Содержание оксида углерода (CO) (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 |
Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 |
Метан (СН4) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 |
Вода H2Содержание O (объемная доля)/10-6≤ | 3 |
Общее содержание журнала/10-6≤ | 10 |