
| Элемент | Техническая собственность |
| Гелий высокой чистоты | |
| Чистота гелия He (объемная доля)/10-2≥ | 99.999 |
| Содержание неона (Ne) (объемная доля)/10-6≤ | 4 |
| Водород (H2) содержание (объемная доля)/10-6 ≤ | 1 |
| Кислород (O2) содержание (объемная доля)/10-6 ≤ | 1 |
| Содержание аргона (Ar) (объемная доля)/10-6 ≤ | |
| Азот (N2) содержание (объемная доля)/10-6 ≤ | 2 |
| Содержание оксида углерода (СО) (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 |
| Углекислый газ (CO2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 |
| Метан (CH4) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 |
| Вода H2Содержание O (объемная доля)/10-6≤ | 3 |
| Общее содержание журнала/10-6≤ | 10 |