Продукты
Тетрафторид углерода
Тетрафторметан, также известный как тетрафторид углерода, является простейшим фторуглеродом (CF4).Он имеет очень высокую прочность связи из-за природы связи углерод-фтор.Его также можно классифицировать как галогеналкан или галометан.Из-за множественных связей углерод-фтор и самой высокой электроотрицательности фтора углерод в тетрафторметане имеет значительный положительный частичный заряд, который усиливает и укорачивает четыре связи углерод-фтор, обеспечивая дополнительный ионный характер.Тетрафторметан – мощный парниковый газ.
Тетрафторметан иногда используется в качестве низкотемпературного хладагента.Он используется в микропроизводстве электроники отдельно или в сочетании с кислородом в качестве плазменного травителя кремния, диоксида кремния и нитрида кремния.
| Химическая формула | CF4 | Молекулярная масса | 88 |
| Номер КАС. | 75-73-0 | Номер ЭИНЭКС. | 200-896-5 |
| Температура плавления | -184℃ | Точка Болинга | -128,1℃ |
| растворимость | Нерастворим в воде | Плотность | 1,96 г/см³ (-184℃) |
| Появление | Бесцветный, без запаха, негорючий сжимаемый газ. | Приложение | используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем, а также в качестве лазерного газа, хладагента и т. д. |
| Идентификационный номер ТОЧКИ | ООН1982 | НАЗВАНИЕ ДОСТАВКИ DOT/IMO: | Тетрафторметан, сжатый или холодильный газ R14 |
| Класс опасности DOT | Класс 2.2 |
| Элемент | Стоимость, I сорт | Стоимость, II степень | Единица |
| Чистота | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Другие фторуглероды | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Кислотность | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *другие фторуглероды относятся к C2F6、С3F8 | |||
Примечания
1) все технические данные, указанные выше, предназначены для справки.
2) альтернативная спецификация приветствуется для дальнейшего обсуждения.
