Продукция
Газ аргон для электронной промышленности (Ar)
| Элемент | Техническая собственность | |
| Чистота аргона (Ar) (объемная доля)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Водород (Н2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| Азот (N2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Кислород (О2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.2 | 0,5 |
| Общее содержание оксида углерода (CO) и диоксида углерода (CO2), (объемная доля)/10-6≤ | Окись углерода: 0,1 Углекислый газ: 0,1 | 0,5 |
| Общее содержание углеводородов (в пересчете на метан) (объемная доля)/10-6≤ | 0.1 | 0,5 |
| Вода (Н2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.2 | 0,5 |
| Общее содержание примесей (объемная доля)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Зерно | Согласовано Поставщиком и Покупателем | Согласовано Поставщиком и Покупателем |
| Примечание: Содержание воды в жидком аргоне следует измерять после газификации. | ||
Область применения: в основном используется для продувки, защиты и герметизации системы. Также может использоваться в химическом осаждении из паровой фазы, распылении, плазменном и активном ионном травлении, отжиге и других различных процессах, а также в электронных специальных газовых смесях.
Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам
