Tetrafluormetanul, cunoscut și sub numele de tetrafluorură de carbon, este cel mai simplu fluorocarbon (CF4).Are o rezistență de legătură foarte mare datorită naturii legăturii carbon-fluor.De asemenea, poate fi clasificat ca haloalcan sau halometan.Datorită legăturilor multiple carbon-fluor și a celei mai mari electronegativități a fluorului, carbonul din tetrafluormetan are o sarcină parțială pozitivă semnificativă care întărește și scurtează cele patru legături carbon-fluor, oferind un caracter ionic suplimentar.Tetrafluormetanul este un gaz cu efect de seră puternic.
Tetrafluormetanul este uneori folosit ca agent frigorific la temperaturi joase.Este folosit în microfabricarea electronică, singur sau în combinație cu oxigen, ca agent de gravare cu plasmă pentru siliciu, dioxid de siliciu și nitrură de siliciu.
Formula chimica | CF4 | Greutate moleculară | 88 |
CAS Nr. | 75-73-0 | EINECS nr. | 200-896-5 |
Punct de topire | -184℃ | Punct de boling | -128,1℃ |
solubilitate | Insolubil în apă | Densitate | 1,96 g/cm³(-184℃) |
Aspect | Un gaz incolor, inodor, neinflamabil, compresibil | Aplicație | utilizat în procesul de gravare cu plasmă pentru diferite circuite integrate și utilizat și ca gaz laser, agent frigorific etc. |
Număr ID DOT | UN1982 | NUME DE TRANSPORT DOT/IMO: | Tetrafluormetan, gaz comprimat sau refrigerant R14 |
Clasa de pericol DOT | Clasa 2.2 |
Articol | Valoare, gradul I | Valoare, gradul II | Unitate |
Puritate | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Alte fluorocarburi | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Aciditate | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*alte fluorocarburi se referă la C2F6、C3F8 |
Note
1) toate datele tehnice indicate mai sus sunt pentru referință.
2) specificațiile alternative sunt binevenite pentru discuții ulterioare.