O tetrafluorometano, também conhecido como tetrafluoreto de carbono, é o fluorocarbono mais simples (CF4).Possui uma força de ligação muito alta devido à natureza da ligação carbono-flúor.Também pode ser classificado como haloalcano ou halometano.Devido às múltiplas ligações carbono-flúor e à maior eletronegatividade do flúor, o carbono no tetrafluorometano tem uma carga parcial positiva significativa que fortalece e encurta as quatro ligações carbono-flúor, fornecendo caráter iônico adicional.O tetrafluorometano é um potente gás de efeito estufa.
O tetrafluorometano às vezes é usado como refrigerante de baixa temperatura.É usado na microfabricação de eletrônicos sozinho ou em combinação com oxigênio como decapante de plasma para silício, dióxido de silício e nitreto de silício.
Fórmula química | CF4 | Peso molecular | 88 |
Nº CAS | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
Ponto de fusão | -184°C | Ponto de Boling | -128,1℃ |
solubilidade | Insolúvel em água | Densidade | 1,96g/cm³(-184℃) |
Aparência | Um gás incolor, inodoro, não inflamável e compressível | Aplicativo | usado no processo de gravação a plasma para vários circuitos integrados e também como gás laser, refrigerante, etc. |
Número de identificação DOT | ONU1982 | NOME DE ENVIO DOT/IMO: | Tetrafluorometano, Gás Comprimido ou Refrigerante R14 |
Classe de perigo DOT | Classe 2.2 |
Item | Valor, grau I | Valor, grau II | Unidade |
Pureza | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Outros fluorocarbonos | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Acidez | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*outros fluorocarbonos referem-se a C2F6、C3F8 |
Notas
1) todos os dados técnicos indicados acima são para sua referência.
2) especificações alternativas são bem-vindas para discussão mais aprofundada.