Tetrafluoromethane، چې د کاربن tetrafluoride په نوم هم پیژندل کیږي، ترټولو ساده فلورو کاربن (CF4) دی.دا د کاربن - فلورین بانډ طبیعت له امله خورا لوړ اړیکې ځواک لري.دا د haloalkane یا halomethane په توګه هم طبقه بندي کیدی شي.د ډیری کاربن – فلورین بانډونو او د فلورین ترټولو لوړ بریښنایی منفيیت له امله ، په ټیټرافلوورومیتان کې کاربن د پام وړ مثبت جزوي چارج لري کوم چې د اضافي آیونیک ځانګړتیا په چمتو کولو سره څلور کاربن – فلورین بانډونه پیاوړي او لنډوي.Tetrafluoromethane یو پیاوړی شنو خونو ګاز دی.
Tetrafluoromethane کله ناکله د ټیټ تودوخې یخچال په توګه کارول کیږي.دا یوازې د بریښنایی مایکرو فابریکیشن کې کارول کیږي یا د سیلیکون ، سیلیکون ډای اکسایډ ، او سیلیکون نایټریډ لپاره د پلازما ایچینټ په توګه د اکسیجن سره په ترکیب کې کارول کیږي.
کیمیاوي فورمول | CF4 | مالیکولر وزن | 88 |
CAS شمیره | 75-73-0 | EINECS شمیره | 200-896-5 |
د وېلې کېدو نقطه | -184 ℃ | بولینګ ټکی | -128.1℃ |
محلولیت | په اوبو کې منحل کیدونکی | کثافت | 1.96g/cm³ (-184℃) |
بڼه | بې رنګ، بې بوی، نه سوځیدونکی، د فشار وړ ګاز | غوښتنلیک | د مختلف مدغم سرکیټونو لپاره د پلازما ایچ کولو پروسې کې کارول کیږي ، او د لیزر ګاز ، یخچال وغيره په توګه هم کارول کیږي. |
د DOT ID شمیره | UN1982 | د DOT/IMO بار وړلو نوم: | Tetrafluoromethane، کمپریس شوي یا یخ شوي ګاز R14 |
د DOT خطر ټولګي | ټولګي 2.2 |
توکي | ارزښت، لومړی درجه | ارزښت، دوهمه درجه | واحد |
پاکوالی | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
نور فلورو کاربنونه | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
تیزابیت | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*نور فلورو کاربن C ته اشاره کوي2F6سي3F8 |
یادښتونه
1) پورته ذکر شوي ټول تخنیکي معلومات ستاسو د حوالې لپاره دي.
2) بدیل توضیحات د نورو بحثونو لپاره ښه راغلاست دي.