Produkty
Tetrafluorek węgla
Tetrafluorometan, znany również jako tetrafluorek węgla, jest najprostszym fluorowęglowodorem (CF4).Ma bardzo wysoką siłę wiązania ze względu na charakter wiązania węgiel-fluor.Można go również sklasyfikować jako haloalkan lub halometan.Ze względu na wielokrotne wiązania węgiel-fluor i najwyższą elektroujemność fluoru, węgiel w tetrafluorometanie ma znaczny dodatni ładunek cząstkowy, który wzmacnia i skraca cztery wiązania węgiel-fluor, nadając dodatkowy charakter jonowy.Tetrafluorometan jest silnym gazem cieplarnianym.
Czasami jako niskotemperaturowy czynnik chłodniczy stosuje się tetrafluorometan.Stosuje się go w mikrofabrykacji elektroniki samodzielnie lub w połączeniu z tlenem jako środek trawiący plazmowy krzemu, dwutlenku krzemu i azotku krzemu.
| Wzór chemiczny | CF4 | Waga molekularna | 88 |
| Nr CAS | 75-73-0 | Nr EINECS | 200-896-5 |
| Temperatura topnienia | -184℃ | Bolący punkt | -128,1 ℃ |
| rozpuszczalność | Nierozpuszczalne w wodzie | Gęstość | 1,96 g/cm3 (-184 ℃) |
| Wygląd | Gaz bezbarwny, bezwonny, niepalny i ściśliwy | Aplikacja | stosowany w procesie trawienia plazmowego różnych układów scalonych, a także jako gaz laserowy, czynnik chłodniczy itp. |
| Numer identyfikacyjny DOT | ONZ1982 | NAZWA WYSYŁKI DOT/IMO: | Tetrafluorometan, gaz sprężony lub czynnik chłodniczy R14 |
| Klasa zagrożenia DOT | Klasa 2.2 |
| Przedmiot | Wartość, klasa I | Wartość, klasa II | Jednostka |
| Czystość | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Inne fluorowęglowodory | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kwasowość | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *inne fluorowęglowodory odnoszą się do C2F6,C3F8 | |||
Notatki
1) wszystkie dane techniczne wskazane powyżej służą wyłącznie celom informacyjnym.
2) alternatywna specyfikacja jest mile widziana do dalszej dyskusji.
