Punkt | Teknisk eiendom |
Neon med høy renhet | |
Neon (Ne) renhet (volumfraksjon)/10-2≥ | 99.999 |
Helium (He) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 6 |
Hydrogen (H2) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 1 |
Oksygen+argon (beregnet av oksygen) (O2+Ar) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 1 |
Nitrogen (N2) innhold (volumfraksjon) zz/10-6≤ | 2 |
Karbonmonoksid (CO) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 0,2 |
Karbondioksid (CO2) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 0,2 |
Metan (CH4) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 0,1 |
Vann (H2O) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 2 |
Totalt innhold av urenheter (volumfraksjon)/10-6≤ | 10 |