Produkter
Karbontetrafluorid
Tetrafluormetan, også kjent som karbontetrafluorid, er det enkleste fluorkarbonet (CF4).Den har en veldig høy bindingsstyrke på grunn av karbon-fluorbindingens natur.Det kan også klassifiseres som en haloalkan eller halometan.På grunn av de multiple karbon-fluor-bindingene, og den høyeste elektronegativiteten til fluor, har karbonet i tetrafluormetan en betydelig positiv partiell ladning som styrker og forkorter de fire karbon-fluor-bindingene ved å gi ytterligere ionisk karakter.Tetrafluormetan er en kraftig drivhusgass.
Tetrafluormetan brukes noen ganger som et lavtemperaturkjølemiddel.Det brukes i elektronikk mikrofabrikasjon alene eller i kombinasjon med oksygen som et plasmaetsemiddel for silisium, silisiumdioksyd og silisiumnitrid.
| Kjemisk formel | CF4 | Molekylær vekt | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS nr. | 200-896-5 |
| Smeltepunkt | -184℃ | Boling poeng | -128,1 ℃ |
| løselighet | Uløselig i vann | Tetthet | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Utseende | En fargeløs, luktfri, ikke-brennbar, komprimerbar gass | applikasjon | brukes i plasmaetseprosessen for ulike integrerte kretsløp, og brukes også som lasergass, kjølemiddel etc. |
| DOT ID-nummer | FN1982 | DOT/IMO FRAKTNAVN: | Tetrafluormetan, komprimert eller kjølegass R14 |
| DOT-fareklasse | Klasse 2.2 |
| Punkt | Verdi, karakter I | Verdi, karakter II | Enhet |
| Renhet | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andre fluorkarboner | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Surhet | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andre fluorkarboner refererer til C2F6、C3F8 | |||
Notater
1) alle de tekniske dataene angitt ovenfor er for din referanse.
2) alternativ spesifikasjon er velkommen for videre diskusjon.
