ကုသိုလ်ကံ | နည်းပညာပစ္စည်းဥစ္စာ | |
အာဂွန် (Ar) သန့်ရှင်းမှု (ထုထည်အပိုင်း)/၁၀-2≥ | ၉၉,၉၉၉၉ | ၉၉,၉၉၉၂ |
ဟိုက်ဒရိုဂျင် (H2) အကြောင်းအရာ (အတွဲအပိုင်း)/၁၀-6≤ | ၀.၁ | 1 |
နိုက်ထရိုဂျင် (N2) အကြောင်းအရာ (အတွဲအပိုင်း)/၁၀-6≤ | ၀.၅ | 5 |
အောက်ဆီဂျင် (O2) အကြောင်းအရာ (အတွဲအပိုင်း)/၁၀-6≤ | ၀.၂ | ၀.၅ |
ကာဗွန်မိုနောက်ဆိုဒ် (CO) နှင့် ကာဗွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် (CO2), (အတွဲအပိုင်း)/၁၀-6≤ | ကာဗွန်မိုနောက်ဆိုဒ်- 0.1 ကာဗွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်- 0.1 | ၀.၅ |
စုစုပေါင်း ဟိုက်ဒရိုကာဗွန် (မီသိန်းဖြင့် တွက်ချက်) ပါဝင်မှု (ထုထည်အပိုင်း)/10-6≤ | ၀.၁ | ၀.၅ |
ရေ (H2O) အကြောင်းအရာ (အတွဲအပိုင်း)/၁၀-6≤ | ၀.၂ | ၀.၅ |
စုစုပေါင်း အညစ်အကြေးပါဝင်မှု (အတွဲအပိုင်း)/၁၀-6≤ | 1 | 8 |
စပါး | ပေးသွင်းသူနှင့် တောင်းဆိုသူမှ သဘောတူညီခဲ့သည်။ | ပေးသွင်းသူနှင့် တောင်းဆိုသူမှ သဘောတူညီခဲ့သည်။ |
မှတ်ချက်- အာဂွန်အရည်၏ ရေပါဝင်မှုကို ဓာတ်ငွေ့ထုတ်ပြီးနောက် တိုင်းတာရမည်။ |
အပလီကေးရှင်းနယ်ပယ်- အဓိကအားဖြင့် စနစ်၏ သန့်စင်ခြင်း၊ ကာကွယ်ခြင်းနှင့် ဖိအားပေးခြင်းအတွက် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းကို ဓာတုအငွေ့ထုတ်ခြင်း၊ sputtering၊ plasma နှင့် active ion etchant၊ annealing နှင့် အခြားသော မတူညီသော လုပ်ငန်းစဉ်များအပြင် အီလက်ထရွန်နစ် အထူးရောစပ်ဓာတ်ငွေ့များတွင်လည်း အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။