उत्पादने
कार्बन टेट्राफ्लोराइड
टेट्राफ्लोरोमेथेन, ज्याला कार्बन टेट्राफ्लोराइड असेही म्हणतात, सर्वात सोपा फ्लोरोकार्बन (CF4) आहे.कार्बन-फ्लोरिन बाँडच्या स्वरूपामुळे यात खूप उच्च बंधन शक्ती आहे.हे हॅलोअल्केन किंवा हॅलोमेथेन म्हणून देखील वर्गीकृत केले जाऊ शकते.बहुविध कार्बन-फ्लोरिन बॉण्ड्स आणि फ्लोरिनच्या सर्वाधिक इलेक्ट्रोनेगेटिव्हिटीमुळे, टेट्राफ्लोरोमिथेनमधील कार्बनमध्ये महत्त्वपूर्ण सकारात्मक आंशिक चार्ज असतो जो अतिरिक्त आयनिक वर्ण प्रदान करून चार कार्बन-फ्लोरिन बंध मजबूत आणि लहान करतो.टेट्राफ्लोरोमेथेन हा एक शक्तिशाली हरितगृह वायू आहे.
टेट्राफ्लुओरोमेथेनचा वापर कधीकधी कमी तापमानाचे शीतक म्हणून केला जातो.हे केवळ इलेक्ट्रॉनिक्स मायक्रोफॅब्रिकेशनमध्ये किंवा सिलिकॉन, सिलिकॉन डायऑक्साइड आणि सिलिकॉन नायट्राइडसाठी प्लाझ्मा एचंट म्हणून ऑक्सिजनच्या संयोजनात वापरले जाते.
| रासायनिक सूत्र | CF4 | आण्विक वजन | 88 |
| CAS क्र. | 75-73-0 | EINECS क्र. | 200-896-5 |
| द्रवणांक | -184℃ | बोलिंग पॉइंट | -128.1℃ |
| विद्राव्यता | पाण्यात अघुलनशील | घनता | 1.96g/cm³（-184℃） |
| देखावा | रंगहीन, गंधहीन, ज्वलनशील नसलेला, दाबता येणारा वायू | अर्ज | विविध एकात्मिक सर्किट्ससाठी प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेत वापरले जाते आणि लेसर गॅस, रेफ्रिजरंट इ. म्हणून देखील वापरले जाते. |
| DOT आयडी क्रमांक | UN1982 | DOT/IMO शिपिंग नाव: | टेट्राफ्लोरोमेथेन, संकुचित किंवा रेफ्रिजरंट गॅस R14 |
| DOT धोका वर्ग | वर्ग 2.2 |
| आयटम | मूल्य, ग्रेड I | मूल्य, ग्रेड II | युनिट |
| पवित्रता | ≥99.999 | ≥९९.९९९७ | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤४.० | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| इतर फ्लोरोकार्बन्स | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| आंबटपणा | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *इतर फ्लोरोकार्बन्स C चा संदर्भ देतात2F6, सी3F8 | |||
नोट्स
1) वर दर्शविलेले सर्व तांत्रिक डेटा तुमच्या संदर्भासाठी आहेत.
2) पुढील चर्चेसाठी पर्यायी तपशीलाचे स्वागत आहे.
