ഇനം | സാങ്കേതിക സ്വത്ത് |
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള നിയോൺ | |
നിയോൺ (Ne) പരിശുദ്ധി (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-2≥ | 99.999 പിആർ |
ഹീലിയം (He) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 6 |
ഹൈഡ്രജൻ (H2) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 1 |
ഓക്സിജൻ+ആർഗോൺ (ഓക്സിജൻ ഉപയോഗിച്ച് കണക്കാക്കുന്നു) (O2+Ar) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 1 |
നൈട്രജൻ (N2) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ) zz/10-6≤ | 2 |
കാർബൺ മോണോക്സൈഡ് (CO) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.2 |
കാർബൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ് (CO2) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.2 |
മീഥെയ്ൻ (CH4) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.1 |
വെള്ളം (എച്ച്2O) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 2 |
ആകെ മാലിന്യത്തിന്റെ അളവ് (വോളിയം അംശം)/10-6≤ | 10 |