ഇനം | സാങ്കേതിക സ്വത്ത് | ||
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സെനോൺ ജിബി/ടി5828-2006 | അൾട്രാപ്യുവർ സെനോൺ | ||
സെനോൺ (Xe) പരിശുദ്ധി (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-2≥ | 99.999 പിആർ | 99.9995 പി.ആർ. | 99.9999 പി.ആർ. |
നൈട്രജൻ (N2) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 2.5 प्रकाली2.5 | 1.5 | 0.2 |
ഓക്സിജൻ (O2) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 1.5(ഒ2+ആർ) | 0.5(ഒ2+ആർ) | 0.1 |
ആർഗോൺ (Ar) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.05 ഡെറിവേറ്റീവുകൾ | ||
ഹൈഡ്രജൻ (H2) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 ഡെറിവേറ്റീവുകൾ |
കാർബൺ മോണോക്സൈഡ് (CO) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(സിഒ+സിഒ2) |
കാർബൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ് (CO2) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
മീഥെയ്ൻ (CH4) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 ഡെറിവേറ്റീവുകൾ |
വെള്ളം (എച്ച്2O) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
ക്രിപ്റ്റോൺ (Kr) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
നൈട്രസ് ഓക്സൈഡ് (N2O) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 ഡെറിവേറ്റീവുകൾ |
ഫ്ലൂറൈഡ് (സി2F6) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 ഡെറിവേറ്റീവുകൾ |
ഫ്ലൂറൈഡ് (SF6) ഉള്ളടക്കം (വോളിയം ഭിന്നസംഖ്യ)/10-6≤ | ബാധകമല്ല | ബാധകമല്ല | 0.05 ഡെറിവേറ്റീവുകൾ |
ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡുകൾ: പ്രധാനമായും സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായം, എയ്റോസ്പേസ്, ഇലക്ട്രിക് ലൈറ്റ് സോഴ്സ് വ്യവസായം, മെഡിക്കൽ ചികിത്സ, ഇലക്ട്രിക് വാക്വം, ഡാർക്ക് മാറ്റർ ഗവേഷണം, ലേസർ, മറ്റ് മേഖലകൾ എന്നിവയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.